Los analizadores de gases permiten medir la concentración de gases presente en la atmósfera o en vacío.

ATMOSFERA: Para medir gases a presión atmosférica, MKS ofrece los analizadores de gases FTIR (Fourrier Transform Infra Red) Serie 2030 utilizados típicamente en la medición de emisiones de gases emitidos por plantas de producción o producidos por motores a combustión con sensibilidad de hasta ppb. También ofrece el espectrómetro de masa CIRRUS para medir moléculas de hasta 300 amu de peso molecular. Este último es un sistema integrado tipo bench top incluyendo bombas de vacío, espectrómetro de masa y manifold con capilar.

 

VACIO: Para medir las presiones parciales de los gases y vapores en vacío, MKS ofrece varios espectrómetros de masa de tipo cuadripolar. La suma de cada presión parcial da la presión total residual en el sistema (la única que mide un vacuometro). Es el método más sensible y más cualitativo para calificar la presión en sistemas de vacío: Se puede analizar las fuentes desgasificacion interna, se pueden encontrar fugas reales y virtuales, se puede calificar una reacción como un plasma…. La serie Microvision Plus permite medir hasta 300 amu. La serie e- Visión es especialmente diseñada para ser parte de un red ethernet. La serie 300mm Resist-Torr permite analizar procesos industriales de tipo PVD con photoresist. La serie HPQ2/HPQ2S son espectrómetros de masa compactos que pueden trabajar hasta 8 mTorr sin bombeo diferencial.